Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien Und Herstellung Von Mikrosystemen
by Norbert Schwesinger /
2009 / German / PDF
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Das Buch geht zunchst auf die mechanischen Grundelemente, wie Balken und Brcken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialen in der Mikrosystemtechnik.
Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu beispielsweise die Herstellung von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erlutert werden. Weiter werden Materialien wie Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektrische Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote nher charakterisiert. Anschlieend werden Herstellungsverfahren fr Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturbertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erlutert. Es folgt die Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prftechnik von Mikrosystemen. Abschlieend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes greren Abschnitts die relevanten Schlsselwrter vermerkt.
Diese finden sich im Weiteren auch in der Marginalspalte wieder. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz "Merke", in dem die wichtigsten Informationen noch einmalstichpunktartig zusammengefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk fr Studium und Praxis. Das Buch fut auf den Erkenntnissen einer Kooperation der Fachgruppe Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU Mnchen mit dem FB Medienpdagogik der Universitt Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermglicht.
